半導体材料ガスリーク・ディテクターXP-703D
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半導体材料ガスリーク・ディテクターXP-703Dは、半導体材料ガス（半導体材料ガス(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素など)
）の超微量もれ検知に最適
138,000円を
特価128,000円（税込134,400円）
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半導体材料ガス検知器XP-703Dは、ガスもれをランプとブザーで知らせ
| 検知対象ガス |
アルシン |
ホスフィン |
ジボラン |
シラン |
水素 |
| |
AsＨ3 |
ＰＨ3 |
Ｂ2Ｈ6 |
SiＨ4 |
Ｈ2 |
| 検知可能漏洩量 |
1.0×10‐7 |
1.5×10‐7 |
0.5×10‐7 |
2.5×‐7 |
5×10‐7（Ｐa・m3/Ｓ） |
| 検知可能濃度 |
0.2 |
0.3 |
0.1 |
0.5 |
1.0 （ppm） |
半導体材料ガスリーク・ディテクターXP-703Dの特長
微量の半導体材料ガスアルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素を超高感度で検知
小型・軽量、優れた操作性、しかも自動吸引式
検漏液（石鹸など）よりもはるかに高感度、操作は簡単
もれの確認は、ランプ・ブザー方式
光源電圧低下をBATT.ランプの消灯により自動表示
ハイブリッドICの採用で信頼性アップ
ブザースイッチ、イヤホン、ジャックを標準装備（イヤホンは別売り）
本質安全防爆構造対応
半導体材料ガス検知器XP-703Dの用途
半導体工場では、低濃度で人体へ影響が出るシラン、アルシン等の毒性ガスが材料ガスとして使われています。
そのため、これらの毒性ガスが万が一漏洩した場合、低濃度で検知できるガスセンサを搭載したガス検知警報器やガス検知器が必要とされています。
半導体材料ガスアルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素ガスリーク・ディテクターXP-703Dの仕様
| 型式 |
XP-703D |
| 検知対象ガス |
半導体材料ガス
アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素他
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| 検知原理 |
熱線型半導体式 |
| 採取方法 |
自動吸引式 |
| 検知可能濃度 |
| アルシン |
ASH3 |
0.2ppm |
| ホスフィン |
PH3 |
0.3ppm |
| ジボラン |
B2H6 |
0.1ppm |
| シラン |
SiH4 |
0.5ppm |
| 水素 |
H2 |
1.0ppm |
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| 検知表示 |
ブザー音の断続及びランプの点滅 |
| 応答時間 |
10秒以内 |
| 標準付属 |
レザーケース、ドレンフィルタ
フィルタエレメント、点検ガス
標準アタッチメント、単３形マンガン乾電池 |
| オプション |
イヤホン |
半導体材料ガスリーク・ディテクターXP-703Dのメンテ
1年に一度は点検をお勧めします。基本点検料 13,800円（税込14,490円）
センサーは、3-5年もちます
ISO対策の3点セット（校正証明書・試験成績書・トレサビリティ）の発行が可能です（有償）
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