半導体材料ガス警報検知器XPS-7
半導体材料ガス検知器XPS-7は、センサユニットを交換するだけで、様々なガスの検知が可能
これによりメンテナンス時間やコストを大幅に削減
 半導体材料ガス検知器XPS-7のカタログ
半導体材料ガス検知器XPS-7は、センサユニットは感度調整済みでお客さまにお届け
半導体材料ガス警報検知器XPS-7の対象ガス一覧
| 測定ガス |
フルスケール |
警報設定値 |
単位 |
1段目 |
2段目 |
| アンモニア |
100 |
12 |
25 |
ppm |
| シラン |
25 |
2.5 |
5 |
ppm |
| ジクロルシラン |
25 |
2.5 |
5 |
ppm |
| アルシン |
250 |
25 |
50 |
ppb |
| ホスフィン |
1 |
0.15 |
0.3 |
ppm |
| ジボラン |
500 |
50 |
100 |
ppb |
| セレン化水素 |
250 |
25 |
50 |
ppb |
| ゲルマン |
1 |
0.1 |
0.2 |
ppm |
| 塩素 |
5 |
0.25 |
0.5 |
ppm |
| 三フッ化塩素 |
1 |
0.05 |
0.1 |
ppm |
| 塩化水素 |
25 |
2.5 |
5 |
ppm |
| フッ化水素 |
10 |
1.5 |
3 |
ppm |
| 臭化水素 |
10 |
1.5 |
3 |
ppm |
| 一酸化窒素 |
100 |
12 |
25 |
ppm |
| 硫化水素 |
50 |
5 |
10 |
ppm |
| 一酸化炭素 |
250 |
12.5 |
25 |
ppm |
| ジシラン |
25 |
2.5 |
5 |
ppm |
| フッ素 |
5 |
0.5 |
1 |
ppm |
| オゾン |
1 |
0.05 |
0.1 |
ppm |
半導体材料ガス警報検知器XPS-7の特長
半導体材料ガス警報検知器XPS-7は、センサユニットを交換するだけで、様々なガスの検知が可能
ガス種・フルスケール・警報ポイントの設定は自動設定で、面倒な操作は不要です。
これによりメンテナンス時間やコストを大幅に削減できます。
（センサユニットは6ヶ月交換です）
半導体材料ガス警報検知器XPS-7のセンサユニットは校正済みでお客さまにお届けしますので交換するだけですぐに使用可能
持ち帰り点検校正や現場での校正作業が不要
半導体材料ガス警報検知器XPS-7の重量はわずか1.3kg。
従来製品の約1/2。軽量化を実現し、より一層持ち運びが便利
半導体材料ガス警報検知器XPS-7の警報音がガス濃度に合わせて変化
ガス濃度が低いと断続音、高くなると断続音の間隔が短くなり、連続音に変化します
半導体材料ガス警報検知器XPS-7は、乾電池・ＡＣ電源どちらも使用可能
半導体材料ガス警報検知器XPS-7は、ロガー機能付でPCでのデータ管理が可能
センサユニットの交換方法
| 側面のセンサユニットカバーを開けます。 |
センサユニットを取り出し、新しいセンサユニットを差込みます。
センサユニットカバーを閉じれば交換終了 |
 |
 |
半導体材料ガス検知器XPS-7の用途
半導体工場では、低濃度で人体へ影響が出るシラン、アルシン等の毒性ガスが材料ガスとして使われています。
そのため、これらの毒性ガスが万が一漏洩した場合、低濃度で検知できるガスセンサを搭載したガス検知警報器やガス検知器が必要とされています。
半導体材料ガス検知器XPS-7の仕様
| 検知対象ガス |
半導体材料ガス |
| 検知原理 |
定電位電解式 |
| ガス採気方法 |
ポンプ吸引式 |
| 検知範囲 |
仕様による |
| 分解能 |
フルスケールの100分の1表示 |
| 指示精度*1 |
FS±10%以内 |
| 警報モード |
2段警報方式 |
| 警報方式 |
ブザー（断続音）、アラームランプ点滅 |
| 応答時間*1 |
60秒以内（60%応答） |
| 濃度表示方式 |
LCDデジタル表示 |
| 使用温度範囲 |
0～40℃ |
| 電源 |
単3形アルカリ乾電池4本*2
またはAC専用アダプタ（オプション） |
| 電池使用時間 |
連続12時間以上（アルカリ乾電池にて無警報時、20℃の場合） |
| 寸法 |
本体 W62×H150×D128㎜（突起部のぞく） |
| 重量 |
約1.3kg |
| 付属品 |
ショルダーベルト、単3アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚 |
| オプション |
AC専用アダプタ
（AC100V/DC6V） |
|
| センサ専用通電台 * |
|
| ログデータ収集キット |
|
半導体材料ガス検知器XPS-7のメンテ
ISO対策の3点セット（校正証明書・試験成績書・トレサビリティ）の発行が可能です（有償）
センサの交換は半年に一度が推奨-20,000円（税込21,000円）
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